코팅 제품
호켄머티리얼즈는 첨단 제조 산업을 위한 고순도 흑연과 SiC·TaC 코팅 솔루션을 제공합니다.
또한 극한 환경에서 높은 안정성을 요구하는 산업에 적합한 고성능 소재를 생산합니다.
다양한 공정과 산업 환경에서
안정적인 성능을 발휘하는 CVD 코팅 솔루션
호켄머티리얼즈의 SiC·TaC 코팅 제품은 반도체·전력반도체,태양광, 고온 공정 등 다양한 제조 환경에서도 높은 내구성과 신뢰성을 유지하는 프리미엄 코팅 솔루션입니다.
KNJ와의 기술 협력을 통해 CVD 기반의 고내구성 코팅 기술을 확보하고 있으며, EPI, MOCVD, PVT 등 고난도 공정에서 장비 수명과 공정 품질을 획기적으로 향상시킵니다.
SiC Coating
(Silicon Carbide)
반도체 전·후공정 핵심 파츠용 최고 수준의 SiC 코팅
- High Purity : 반도체 공정 오염 최소화
- 완전 기체 불투과성
- 장비 수명 및 공정 효율 향상
- 내플라즈마·내산화성 우수
- 정밀 공정에서도 치수 안정성 유지
적용 부품
- EPI / MOCVD Susceptor
- Focus Ring / Shield Ring
- Liner / Window / Boat
- Etch / CVD / ALD 장비용 파츠
제품 포트폴리오
Susceptor
SiC 단결정 성장, 단결정 실리콘 제조, SiC 코팅 공정에 사용
TaC Coating
(Tantalum Carbide)
초고온·고내구성이 필요한 전력반도체 공정에 최적
- 고융점(>3800℃)
- 초고경도 / 뛰어난 내마모성
- 고온·플라즈마 환경에서도 안정성 유지
- 전력반도체 PVT·SIC 성장용 장비에 탁월
적용 부품
- Power Semiconductor PVT Susceptor
- 고온 반응기용 부품
- 초고내식성·내열성 요구 부품
제품 포트폴리오
TaC Coating (Tantalum Carbide)
반도체 고온 공정, 플라즈마·식각 장비, CVD 공정용 내식 코팅에 사용